硅材料国家重点实验室

浙江大学硅材料国家重点实验室
State Key Laboratory of Silicon Materials, Zhejiang University

1985年，在浙江大学半导体材料研究所的基础上，由原国家计委批准建设硅材料国家重点实验室（原名高纯硅及硅烷国家重点实验室），1987年通过国家验收，1988年正式对外开放。是国内最早建立的国家重点实验室之一。以重点实验室为依托的浙江大学材料物理与化学学科（原半导体材料学科）一直是全国重点学科，1978年获批国内首批硕士点（半导体材料），1985年获批国内第一个半导体材料工学博士点。
从上世纪50年代开始，浙江大学在硅烷法制备多晶硅提纯技术、掺氮直拉硅单晶生长技术基础研究等取得系列重大成果，在国际上占有独特的地位；同时，实验室一直坚持“产、学、研”紧密结合，培育出浙江金瑞泓科技股份有限公司等国内硅材料的龙头企业，取得显著经济效益。自上世纪90年代以来，实验室研究方向不断拓宽。目前，实验室以硅为核心的半导体材料为重点，包括半导体硅材料、半导体薄膜材料、复合半导体材料以及微纳结构与材料物理等研究方向。
2013年至2017年期间，实验室共获得国家自然科学二等奖2项，国家技术发明二等奖2项，浙江省科学技术（发明）一等奖5项，技术发明一等奖1项。江西、湖北省科学技术进步（技术发明）一等奖各1项（合作），教育部自然科学二等奖1项，浙江省科学技术进步二等奖2项。发表SCI检索论文1996篇，获得授权国家发明专利492项，国际专利5项。已成为国家在本领域的科学研究、人才培养和国际交流的主要基地之一。

http://silab.zju.edu.cn/