硅材料国家重点实验室（原名高纯硅及硅烷国家重点实验室）于1985年由原国家计委批准投资建设，1987年通过国家验收，1988年正式对外开放，是国内最早建立的国家重点实验室之一。以重点实验室为依托的浙江大学材料物理与化学学科（原半导体材料学科）一直是全国重点学科，早在上世纪80年代初就成为国内第一批半导体材料硕士点，86年建立了国内第一个半导体材料工学博士点。